IPR SMART / Технологии электронной компонентной базы

Чтение online

Недоступно Купить

Купить книгу

Рейтинг издания

Технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие

Издательство:

Ай Пи Эр Медиа

Авторы:

Хорин И.А.

Год издания:

2018

ISBN:

978-5-4486-0210-8

Тип издания:

учебное пособие

DOI:

https://doi.org/10.23682/73345 узнать подробнее

Об издании

В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии «Кремний на изоляторе» и формированию систем многоуровневой металлизации ИС. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».

Библиографическая запись

Хорин И.А. Технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Хорин И.А.. — Саратов : Ай Пи Эр Медиа, 2018. — 280 c. — ISBN 978-5-4486-0210-8. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/73345.html (дата обращения: 05.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей