Методы литографии в наноинженерии. В 17 книгах. Кн.9. Учебное пособие
Об издании
Методические материалы по дисциплине «Методы литографии в наноинженерии» содержат ее нормативную базу, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, семинаров, лабораторных работ и деловых игр, перечень учебных видео- и аудиоматериалов, слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы, необходимые для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будут полезны всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.
Библиографическая запись
Макарчук В.В. Методы литографии в наноинженерии. В 17 книгах. Кн.9 : учебное пособие / Макарчук В.В., Родионов И.А., Цветков Ю.Б.. — Москва : Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, 2011. — 179 c. — ISBN 978-5-7038-3500-5 (кн.9), 978-5-7038-3509-8. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/94156.html (дата обращения: 19.05.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Волосова Е.В., Шипуля А.Н., Пашкова Е.В., Безгина Ю.А., Глазунова Н.Н.
(Ставропольский государственный аграрный университет)
Мякишева Ю.В., Громова Д.С., Щепеткова Р.А., Павлов И.С., Павлов А.Ф.
(Ай Пи Ар Медиа)
Коростылев С.А., Устименко Е.А., Громова Н.В., Ситников В.Н., Есаулко А.Н., Голосной Е.В.
(Ставропольский государственный аграрный университет)
Генералова С.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Химченко А.В., Мищенко Н.И., Козлов В.Г.
(Ай Пи Ар Медиа)
Кашаев В.В., Жук В.Л.
(Ай Пи Ар Медиа)