Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии. Учебное пособие
Об издании
Методические материалы по дисциплине «Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, лабораторных работ, перечень учебных видеоматериалов, слайдов, плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будет полезен всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.
Библиографическая запись
Панфилов Ю.В. Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии : учебное пособие / Панфилов Ю.В., Моисеев К.М., Михайлов В.П.. — Москва : Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, 2011. — 196 c. — ISBN 978-5-7038-3494-7 (кн.3), 978-5-7038-3509-8. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/94759.html (дата обращения: 19.05.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Вишневский А.В.
(Российский государственный университет правосудия)
Легезина Г.И.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Илюшов Н.Я., Власова Л.П.
(Профобразование)
Остриков А.Н., Василенко В.Н., Фролова Л.Н., Копылов М.В.
(Проспект Науки)
Бирюков А.Н.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Бердышев В.Е., Ерошенко Л.И., Новиков М.А., Ружьев В.А., Смелик В.А., Теплинский И.З.
(Проспект Науки)
Наволокина Р.А., Абрамова Л.И.
(Инфра-Инженерия)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Перхуткин В.П., Перхуткина З.И., Овчарук Т.А., Недух Е.Н., Панюкова М.Л.
(Инфра-Инженерия)