Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения. Учебное пособие
Об издании
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, изготовления суперконденсаторов, матричных острийных структур, супергидрофобных и супергидрофильных поверхностей. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
Библиографическая запись
Светличный А.М. Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения : учебное пособие / Светличный А.М., Житяев И.Л.. — Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2018. — 96 c. — ISBN 978-5-9275-3097-7. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/95792.html (дата обращения: 18.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Корниенко В.Т.
(Ай Пи Ар Медиа)
Николаева Н.Н., Куликова М.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Кузнецова И.В., Напалков С.В., Смирнов Е.И., Тихомиров С.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Белова С.А., Давыдова Т.Е., Иванова Н.П., Лойко О.А., Тимофеева О.В., Фейзрахманова Н.М., Черноморец Т.В.
(Профобразование)
Макринова Е.И., Васютина Т.Л., Переверзева Е.С., Золотарева Е.О.
(Интермедия)
Петрова Л.А., Малахова Ю.В.
(Профобразование)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Ермина М.А., Ермин Д.А.
(Санкт-Петербургский государственный университет промышленных технологий и дизайна)
Мишуков Б.Г., Соловьева Е.А.
(Санкт-Петербургский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Дейнека А.В., Жуков Б.М.
(Академия Естествознания, Южный институт менеджмента)
Байтулин И.О.
(Всемирный фонд дикой природы (WWF))
Атаров Н.М., Варданян П.С., Горшков Д.А., Леонтьев А.Н.
(Московский государственный строительный университет, ЭБС АСВ)
