Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения. Учебное пособие
Об издании
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, изготовления суперконденсаторов, матричных острийных структур, супергидрофобных и супергидрофильных поверхностей. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
Библиографическая запись
Светличный А.М. Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения : учебное пособие / Светличный А.М., Житяев И.Л.. — Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2018. — 96 c. — ISBN 978-5-9275-3097-7. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/95792.html (дата обращения: 15.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Корниенко В.Т.
(Ай Пи Ар Медиа)
Николаева Н.Н., Куликова М.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Кузнецова И.В., Напалков С.В., Смирнов Е.И., Тихомиров С.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Белова С.А., Давыдова Т.Е., Иванова Н.П., Лойко О.А., Тимофеева О.В., Фейзрахманова Н.М., Черноморец Т.В.
(Профобразование)
Макринова Е.И., Васютина Т.Л., Переверзева Е.С., Золотарева Е.О.
(Интермедия)
Петрова Л.А., Малахова Ю.В.
(Профобразование)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Чунтул А.В., Короткевич М.З., Самусенко А.Г., Павленко Н.С., Горбатовский В.Ф., Привалов В.В., Продин В.И., Рябинин В.А., Беломестнов В.А., Лапа В.В., Давыдов В.В., Иванов А.И., Новиков М.В., Липов Б...
(Когито-Центр)
Болатчиев К.Х., Ермакова Л.А., Пшеничная Н.Ю., Хроменкова Е.П., Хапаев Б.А.
(Северо-Кавказская государственная гуманитарно-технологическая академия)
Вадюшина Д.С., Панкратова С.Н.
(Вышэйшая школа)
Ильинских Н.Н., Чойнзонов Е.Л., Лебедев И.Н., Язиков Е.Г., Мельников А.А., Васильев С.А., Ильинских Е.Н.
(Томский политехнический университет)
Еремина Е.А., Рыжова О.Н.
(Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова)