Чтение online
Недоступно
Рейтинг издания
Поделиться:

Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения. Учебное пособие

Издательство:
Издательство Южного федерального университета
Авторы:
Светличный А.М., Житяев И.Л.
Год издания:
2018
ISBN:
978-5-9275-3097-7
Тип издания:
учебное пособие
DOI:

Об издании

В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, изготовления суперконденсаторов, матричных острийных структур, супергидрофобных и супергидрофильных поверхностей. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».

Библиографическая запись

Светличный А.М. Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения : учебное пособие / Светличный А.М., Житяев И.Л.. — Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2018. — 96 c. — ISBN 978-5-9275-3097-7. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/95792.html (дата обращения: 17.07.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей

РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ

C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ

Этот сайт использует «cookies». Условия использования «cookies» см. в Пользовательском соглашении. Также сайт использует инструменты для сбора технических данных касательно посетителей с целью получения маркетинговой и статистической информации. Условия обработки данных посетителей сайта см. в Политике конфиденциальности. В случае несогласия с обработкой данных, просим покинуть сайт Принять условия