Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения. Учебное пособие
Об издании
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, изготовления суперконденсаторов, матричных острийных структур, супергидрофобных и супергидрофильных поверхностей. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
Библиографическая запись
Светличный А.М. Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения : учебное пособие / Светличный А.М., Житяев И.Л.. — Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2018. — 96 c. — ISBN 978-5-9275-3097-7. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/95792.html (дата обращения: 11.11.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Корниенко В.Т.
(Ай Пи Ар Медиа)
Николаева Н.Н., Куликова М.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Кузнецова И.В., Напалков С.В., Смирнов Е.И., Тихомиров С.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Макринова Е.И., Васютина Т.Л., Переверзева Е.С., Золотарева Е.О.
(Интермедия)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Карпущенко Н.И., Величко Д.В., Пикалов А.С., Лукьянович Т.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Аккерман Г.Л., Аккерман С.Г.
(Уральский государственный университет путей сообщения)
Михайлова Н.В., Курскова Г.Ю., Калина В.Ф., Белоновский В.Н., Эриашвили Н.Д., Курсков Д.Ю., Давиденко А.В., Мамонтов А.Г., Ласкин А.А., Матиенко Т.Л., Карнаушенко Л.В....
(ЮНИТИ-ДАНА)
Альгина Т.Б., Бойцов П.Б., Кремлёва О.К., Макарова О.А., Петров Д.А.
(Ай Пи Эр Медиа)
Иванов В.И., Харитонова Ю.С., Барков А.В., Санникова Л.В., Беседкина Н.И., Борисова Л.В., Коршунов П.Н., Рахматулина Р.Ш....
(ЮНИТИ-ДАНА)
На конкретных примерах рассмотрим:
На конкретных примерах рассмотрим: