Технология эпитаксиальных слоев и гетерокомпозиций. Учебно-методическое пособие
Об издании
Даны краткая история и пути и перспективы развития микроэлектроники, в частности, в области технологии эпитаксиальных гетерокомпозиций. Кратко описаны процессы парофазной эпитаксии химическим осаждением и жидкофазной эпитаксии кремния, соединений ΑIIIΒV и их твердых растворов, применяемого оборудования. Приведены математические модели этих процессов, включающие термодинамический и кинетический блоки. При получении гетерокомпозиций учитываются упругие напряжения и рассматриваются пути их устранения, в частности, создание изопериодных композиций и сверхрешеток. Кроме того, приведены восемь комплексных задач для самостоятельного вычислительного эксперимента при выборе параметров процесса, а также процедура решения задач с использованием разработанного пакета программ на ПЭВМ. Предназначено для студентов, обучающихся по специальности 200100 (направление 654100), а также для научных сотрудников и инженеров-технологов, занимающихся разработкой систем управления и оптимизации технологических процессов.
Библиографическая запись
Кожитов, Л. В. Технология эпитаксиальных слоев и гетерокомпозиций : учебно-методическое пособие / Л. В. Кожитов, В. В. Крапухин, В. А. Улыбин. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2001. — 157 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/98133.html (дата обращения: 22.01.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Кузнецова И.В., Напалков С.В., Смирнов Е.И., Тихомиров С.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Умбетова Ш.М., Гахраманлы Я.В., Халилова А.А., Зарбалиев М.С.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Профобразование)
Казиев Ш.М., Богатырёва И.А.-А., Эбзеева Ф.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Удовкин А.И., Глобин А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Канивец В.А., Погодаев В.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Тинякова Е.А.
(Профобразование)
Чижова М.Е., Веретельникова Ю.Я., Юрова И.Ю., Храмова Ю.А., Чернышкова Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
