Технология эпитаксиальных слоев и гетерокомпозиций. Учебно-методическое пособие
Об издании
Даны краткая история и пути и перспективы развития микроэлектроники, в частности, в области технологии эпитаксиальных гетерокомпозиций. Кратко описаны процессы парофазной эпитаксии химическим осаждением и жидкофазной эпитаксии кремния, соединений ΑIIIΒV и их твердых растворов, применяемого оборудования. Приведены математические модели этих процессов, включающие термодинамический и кинетический блоки. При получении гетерокомпозиций учитываются упругие напряжения и рассматриваются пути их устранения, в частности, создание изопериодных композиций и сверхрешеток. Кроме того, приведены восемь комплексных задач для самостоятельного вычислительного эксперимента при выборе параметров процесса, а также процедура решения задач с использованием разработанного пакета программ на ПЭВМ. Предназначено для студентов, обучающихся по специальности 200100 (направление 654100), а также для научных сотрудников и инженеров-технологов, занимающихся разработкой систем управления и оптимизации технологических процессов.
Библиографическая запись
Кожитов Л.В. Технология эпитаксиальных слоев и гетерокомпозиций : учебно-методическое пособие / Кожитов Л.В., Крапухин В.В., Улыбин В.А.. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2001. — 157 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/98133.html (дата обращения: 28.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Кузнецова И.В., Напалков С.В., Смирнов Е.И., Тихомиров С.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Удовкин А.И., Глобин А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Петрянкин Ф.П., Лаврентьев А.Ю., Шерне В.С.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Кондратова М.
(Альпина нон-фикшн)
Михайлов А.А., Ботыгин В.И., Гинко В.И., Кисляков П.А., Смирнов В.А.
(Инфра-Инженерия)
Мышлявцева М.Д., Соколовский М.Н., Троценко Г.А.
(Омский государственный технический университет)
Сумин Е.В., Шерстюков В.Б.
(Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»)
Логинов В.А.
(Московская государственная академия водного транспорта)
Акчурин Р.Х., Мармалюк А.А.
(Техносфера)