IPR SMART / Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники

Чтение online

Недоступно

Рейтинг издания

Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники. Учебное пособие

Издательство:

Новосибирский государственный технический университет

Авторы:

Васильев В.Ю.

Год издания:

2019

ISBN:

978-5-7782-3915-9

Тип издания:

учебное пособие

DOI:

не присвоен узнать подробнее

Об издании

Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены результаты исследований, начатых в 1970-х годах в Институте физики полупроводников Академии наук СССР и исследовательских отделах предприятий электронной промышленности г. Новосибирска. Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с методологией и технологией получения высококачественных ТП для изделий микроэлектроники, показана возрастающая роль ТП технологий в технологических маршрутах изготовления изделий, рассмотрены тенденции развития, типы и характеристики оборудования для процессов производства ИМС, технологические процессы получения различных ТП материалов на основе кремния, свойства ТП материалов. Учебное пособие разработано в соответствии с рабочей программой учебной дисциплины «Семинары по специальности», образовательная программа: 11.04.04. «Электроника и наноэлектроника», магистерская программа «Микро- и наноэлектроника». Рекомендуется также для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 («Электроника и наноэлектроника»), 28.03.01 и 28.04.01 («Нанотехнологии и микросистемная техника») в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Также рекомендуется для аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», представляет интерес для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.

Библиографическая запись

Васильев В.Ю. Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники : учебное пособие / Васильев В.Ю.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2019. — 107 c. — ISBN 978-5-7782-3915-9. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/98748.html (дата обращения: 05.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей

C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ

Адаптация студентов к обучению в вузе

Касимова З.Ш.

(Ай Пи Ар Медиа)

История — текст — экран

Михайлова Т.В.

(Всероссийский государственный университет кинематографии имени С.А. Герасимова (ВГИК))

Искусство и его виды

Клименко Г.В.

(Прометей)

Взаимосвязи литературы и искусства

Никола М.И., Сомова Е.В., Черноземова Е.Н., Булашова Н.М., Дремов М.А., Кузнецова А.И., Новокрещенных И.А., Попова А.В., Соболева Н.В., Чагина А.П., Чернова Ю.В., Ветивер М.М....

(Прометей)