Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены результаты исследований, начатых в 1970-х годах в Институте физики полупроводников Академии наук СССР и исследовательских отделах предприятий электронной промышленности г. Новосибирска. Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с методологией и технологией получения высококачественных ТП для изделий микроэлектроники, показана возрастающая роль ТП технологий в технологических маршрутах изготовления изделий, рассмотрены тенденции развития, типы и характеристики оборудования для процессов производства ИМС, технологические процессы получения различных ТП материалов на основе кремния, свойства ТП материалов. Учебное пособие разработано в соответствии с рабочей программой учебной дисциплины «Семинары по специальности», образовательная программа: 11.04.04. «Электроника и наноэлектроника», магистерская программа «Микро- и наноэлектроника». Рекомендуется также для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 («Электроника и наноэлектроника»), 28.03.01 и 28.04.01 («Нанотехнологии и микросистемная техника») в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Также рекомендуется для аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», представляет интерес для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.
Библиографическая запись
Васильев В.Ю. Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники : учебное пособие / Васильев В.Ю.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2019. — 107 c. — ISBN 978-5-7782-3915-9. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/98748.html (дата обращения: 04.10.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Шилько В.Г., Яцюнь Чжан, Шилько Т.А., Сосуновский В.С., Радаева С.В., Капилевич Л.В., Дьякова Е.Ю.
(Издательство Томского государственного университета)
Соколов Н.С.
(Инфра-Инженерия)
Соколов Н.С.
(Инфра-Инженерия)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Кязимов К.Г., Гусев В.Е.
(ЭНАС)
Лонская С.В.
(Балтийский федеральный университет им. Иммануила Канта)