Лазеры в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие
Об издании
Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая моделирование физики воздействия лазерного излучения на основе уравнения теплопроводности. Пособие рекомендовано для подготовки магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», а также для специалистов в области лазерных технологий.
Библиографическая запись
Лазеры в микро- и наноэлектронике : учебное пособие / С.П. Малюков [и др.].. — Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2018. — 111 c. — ISBN 978-5-9275-3083-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/87722.html (дата обращения: 27.04.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Величко А.А., Гришина И.В., Игнатов А.Н., Фадеева Н.Е., Филимонова Н.И.
(Инфра-Инженерия)
Никифоров И.К.
(Инфра-Инженерия)
Власов В.А., Волокитин Г.Г., Скрипникова Н.К., Волокитин О.Г., Соловьева Ю.В., Старенченко В.А., Мостовщиков А.В., Шеховцов В.В., Космачев П.В., Соловьев А.Н., Геттингер М.В....
(Томский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Сысоев В.В.
(Саратовский государственный технический университет имени Ю.А. Гагарина, ЭБС АСВ)
Атипенко В.С., Никитенко А.В.
(Российский университет транспорта (МИИТ))
Колесникова Ю.Ф.
(Липецкий государственный педагогический университет имени П.П. Семёнова-Тян-Шанского)
Бодягин Н.В., Вихров С.П., Ларина Т.Г., Мурсалов С.М., Тимофеев В.Н.
(Вузовское образование)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Томсинов В.А.
(Зерцало-М)
Денисов Е.П., Царев А.П., Кульков В.Ф., Солодовников А.П., Летучий А.В., Денисов К.Е.
(Корпорация «Диполь»)
