Физические основы микро- и нанотехнологии. Учебное пособие
Об издании
Изложены основные положения квантовой механики, вопросы строения и структуры традиционных конструкционных материалов. Рассмотрены физические основы базовых технологических операций в микро- и наноэлектронике: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, цифровая обработка изображений, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы измерений в микро- и нанотехнике. Предназначено для студентов высших учебных заведений. Может быть полезно специалистам по радиоэлектронике. Издано в рамках программы опережающей профессиональной подготовки (уровень – магистратура), ориентированной на инвестиционные проекты в области производства погружных электронасосов для нефтедобычи и их узлов с наноструктурными покрытиями Фонда инфраструктурных и образовательных программ «Роснано».
Библиографическая запись
Иванов, А. С. Физические основы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / А. С. Иванов, Г. И. Пахомов. — Пермь : Пермский национальный исследовательский политехнический университет, 2011. — 311 c. — ISBN 978-5-398-00638-4. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/105540.html (дата обращения: 22.06.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Альжанова Э.Е.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Ефимова А.В., Леман М.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Ефимова А.В., Леман М.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Хрусталёв В.А., Юрин В.Е.
(Ай Пи Ар Медиа)
Сергеев И.Ю., Латышенко К.П., Шмырева М.Б., Николаев Г.А., Бояринова С.П.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Воронцова А.В.
(Санкт-Петербургский государственный университет промышленных технологий и дизайна)
Долгих А.В., Сташков С.И.
(Пермский национальный исследовательский политехнический университет)
Ванькович И.М., Волкова В.О., Горохова Д.В., Исаев Э.А., Лысенко А.А., Павлова А.С., Тимкин Т.Р., Федченко Е.А.
(Прометей)
Амиржанова А.Ш., Толмачева Г.В.
(Омский государственный технический университет)
Хамматова Э.А., Гайнутдинов Р.Ф.
(Издательство КНИТУ)