Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов. Учебное пособие

Об издании

В учебном пособии изложены теоретический материал и алгоритмы выполнения курсовых работ, предлагаемых студентам по ряду профильных дисциплин, связанных с прогнозированием условий и проведением процесса осаждения полупроводниковых пленок на основе халькогенидов металлов и других сопутствующих фаз. Приведены необходимый для выполнения расчетов обширный справочный материал, рекомендации по содержанию и оформлению отчетов. Исходя из известных рабочих рецептур, подобраны различные варианты индивидуальных заданий по курсовым работам. Предназначено для студентов бакалавриата и магистрантов, обучающихся по программе «Химическая технология материалов электроники, сенсорной аналитики и неорганических веществ», будет полезно аспирантам различных специальностей и преподавателям вузов.

Библиографическая запись

Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов : учебное пособие / Л.Н. Маскаева [и др.].. — Екатеринбург : Издательство Уральского университета, 2018. — 136 c. — ISBN 978-5-7996-2411-8. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/106532.html (дата обращения: 05.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей