Материаловедение ионно-модифицированных диэлектриков: перспективные технологии электронных устройств на основе ионно-имплантированных полимеров. Учебное пособие

Ионно-лучевое модифицирование (ионная имплантация) приобрело за последние годы важное значение не только как мощный универсальный метод экспериментальной физики, материаловедения, но и как технология создания микроэлектронных устройств современной твердотельной электроники на кремнии, арсениде галлия. В учебном пособии изложены результаты исследований физико-химических процессов, протекающих в полимерах при имплантации ионов высоких энергий, с целью повышения эксплуатационных свойств. Также представлены достижения науки и техники в создании новых электронных устройств на основе ионно-имплантированных полимеров. Учебное пособие подготовлено в соответствии с требованиями Федерального государственного образовательного стандарта высшего образования. Издание может быть использовано студентами, магистрантами и аспирантами укрупненной группы направлений подготовки и специальностей 13.00.00 «Электро- и теплоэнергетика» при изучении дисциплин «Тонкопленочные технологии в упрочнении изделий машиностроения», «Электротехническое и конструкционное материаловедение», «Специальные главы электротехнологии».

Перинский В.В. Материаловедение ионно-модифицированных диэлектриков: перспективные технологии электронных устройств на основе ионно-имплантированных полимеров : учебное пособие / Перинский В.В., Перинская И.В.. — Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2021. — 70 c. — ISBN 978-5-4497-1342-1. — Текст : электронный // IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/110568.html (дата обращения: 30.06.2022). — Режим доступа: для авторизир. пользователей