Технология интегральных микросхем. Учебное пособие
Об издании
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», профиль «Конструирование и технология электронных средств».
Библиографическая запись
Смирнов, В. И. Технология интегральных микросхем : учебное пособие / В. И. Смирнов. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2023. — 244 c. — ISBN 978-5-9729-1232-2. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/133077.html (дата обращения: 19.09.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Кузнецова И.В., Напалков С.В., Смирнов Е.И., Тихомиров С.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Удовкин А.И., Глобин А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Петрянкин Ф.П., Лаврентьев А.Ю., Шерне В.С.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Хорьков В.Н.
(Балтийский федеральный университет им. Иммануила Канта)
Якунин В.И., Сулакшин С.С., Багдасарян В.Э., Бутко А.В.
(Научный эксперт)
Калмыкова О.В., Черепанов А.А.
(Евразийский открытый институт)
Стрижова Е.В., Федотова В.О.
(Евразийский открытый институт)
Богаткин О.Г.
(Российский государственный гидрометеорологический университет)
Любимов Н.А.
(Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова)
Глазов М.М., Фирова И.П., Петрова Е.Е.
(Российский государственный гидрометеорологический университет)