Технология интегральных микросхем. Учебное пособие
Об издании
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», профиль «Конструирование и технология электронных средств».
Библиографическая запись
Смирнов, В. И. Технология интегральных микросхем : учебное пособие / В. И. Смирнов. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2023. — 244 c. — ISBN 978-5-9729-1232-2. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/133077.html (дата обращения: 19.09.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Хачатрян Г.А., Кузнецова И.В.
(Профобразование)
Исяньюлова Р.Р., Половникова М.В.
(Профобразование)
Веселова Н.Ю., Иванова Н.В., Мальшина Н.А.
(Профобразование)
Петропавловский И.А., Дмитревский Б.А., Левин Б.В., Почиталкина И.А.
(Проспект Науки)
Габриелян Д.С.
(Ай Пи Ар Медиа)
