Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники. Учебное пособие
Об издании
Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро- и наноэлектроники, основные виды нанотехнологий и их изделий, а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 «Радиоэлектроника», 11.03.02 «Инфокоммуникационные технологии и системы связи», 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», а также учащихся колледжей электронного и радиотехнического профилей.
Библиографическая запись
Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники : учебное пособие / А. А. Величко, И. В. Гришина, А. Н. Игнатов [и др.] ; под редакцией А. Н. Игнатова. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2023. — 352 c. — ISBN 978-5-9729-1316-9. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/133310.html (дата обращения: 27.09.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Алексеев Г.В., Искаков И.Ж., Кучеренко В.Я., Кузьмина Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Хорьков В.Н.
(Балтийский федеральный университет им. Иммануила Канта)
Якунин В.И., Сулакшин С.С., Багдасарян В.Э., Бутко А.В.
(Научный эксперт)
Калмыкова О.В., Черепанов А.А.
(Евразийский открытый институт)
Стрижова Е.В., Федотова В.О.
(Евразийский открытый институт)
Богаткин О.Г.
(Российский государственный гидрометеорологический университет)
Любимов Н.А.
(Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова)
Глазов М.М., Фирова И.П., Петрова Е.Е.
(Российский государственный гидрометеорологический университет)