IPR SMART / Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники

Чтение online

Недоступно

Рейтинг издания

Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники. Учебное пособие

Издательство:

Инфра-Инженерия

Авторы:

Величко А.А., Гришина И.В., Игнатов А.Н., Фадеева Н.Е., Филимонова Н.И.

Сведения об ответственности:

ред. Игнатова А.Н.

Год издания:

2023

ISBN:

978-5-9729-1316-9

Тип издания:

учебное пособие

DOI:

не присвоен узнать подробнее

Об издании

Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро- и наноэлектроники, основные виды нанотехнологий и их изделий, а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 «Радиоэлектроника», 11.03.02 «Инфокоммуникационные технологии и системы связи», 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», а также учащихся колледжей электронного и радиотехнического профилей.

Библиографическая запись

Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники : учебное пособие / А. А. Величко, И. В. Гришина, А. Н. Игнатов [и др.] ; под редакцией А. Н. Игнатова. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2023. — 352 c. — ISBN 978-5-9729-1316-9. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/133310.html (дата обращения: 27.09.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей