Физические основы электронно-ионно-лучевых и плазменных технологий. Учебное пособие для аспирантов направления 11.06.01
Об издании
Рассматриваются основные физические процессы взаимодействия ускоренных частиц и плазмы с веществом, принципы работы пучкового и плазменного технологического оборудования, применение электронно-ионно-плазменных технологий в промышленности. Для аспирантов направления подготовки 11.06.01, а также студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области физической электроники, ионно-плазменных и лучевых технологий, вакуумной и плазменной электроники, микро- и наноэлектроники, физики твердого тела, материаловедения. Учебное пособие может быть полезным для специалистов и инженеров, сфера деятельности которых касается взаимодействия плазмы и ионных пучков с поверхностью, методов обработки материалов потоками заряженных частиц.
Библиографическая запись
Физические основы электронно-ионно-лучевых и плазменных технологий : учебное пособие для аспирантов направления 11.06.01 / Д. Б. Золотухин, А. С. Климов, А. В. Тюньков [и др.]. — Томск : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2020. — 172 c. — ISBN 978-5-86889-891-4. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/152869.html (дата обращения: 29.07.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Алексеев Г.В., Искаков И.Ж., Кучеренко В.Я., Кузьмина Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Белова С.А., Давыдова Т.Е., Иванова Н.П., Лойко О.А., Тимофеева О.В., Фейзрахманова Н.М., Черноморец Т.В.
(Профобразование)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Krainov A.V., Pashkov E.N.
(Томский политехнический университет)
Глозман Ж.М., Курдюкова С.В., Сунцова А.В.
(Вузовское образование)
Кулаков А.Т., Денисов А.С., Макушин А.А.
(Инфра-Инженерия)
Сторожев В.И.
(Нижегородский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
(Санкт-Петербургский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
(Санкт-Петербургский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Пауткин Ю.Ф., Кузнецов В.И.
(Российский университет дружбы народов)
Кужаков В.Е.
(Российский университет дружбы народов)