Физические основы электронно-ионно-лучевых и плазменных технологий. Учебное пособие для аспирантов направления 11.06.01
Об издании
Рассматриваются основные физические процессы взаимодействия ускоренных частиц и плазмы с веществом, принципы работы пучкового и плазменного технологического оборудования, применение электронно-ионно-плазменных технологий в промышленности. Для аспирантов направления подготовки 11.06.01, а также студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области физической электроники, ионно-плазменных и лучевых технологий, вакуумной и плазменной электроники, микро- и наноэлектроники, физики твердого тела, материаловедения. Учебное пособие может быть полезным для специалистов и инженеров, сфера деятельности которых касается взаимодействия плазмы и ионных пучков с поверхностью, методов обработки материалов потоками заряженных частиц.
Библиографическая запись
Физические основы электронно-ионно-лучевых и плазменных технологий : учебное пособие для аспирантов направления 11.06.01 / Д. Б. Золотухин, А. С. Климов, А. В. Тюньков [и др.]. — Томск : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2020. — 172 c. — ISBN 978-5-86889-891-4. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/152869.html (дата обращения: 29.07.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Альжанова Э.Е.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Данилин А.В., Слюсаренко А.И.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Хрусталёв В.А., Юрин В.Е.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Линева О.И., Колсанова А.В., Кияшко И.С.
(Ай Пи Ар Медиа)
Корецкая М.А., Иливицкая Л.Г., Барабошина Н.В., Клецкин М.В., Кузовенкова Ю.А., Степанов И.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Пономарев А.В., Золотарева М.В.
(Санкт-Петербургский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Налобина А.Н., Федорова Т.Н., Лазарева Н.Н., Кичигина Л.Б.
(Ай Пи Ар Медиа)