Инженерно-физические основы микросистем. Учебное пособие
Об издании
В работе описаны инженерно-физические основы подхода к описанию микросистем, разработанных и применяющихся в настоящее время. Даны определения основным терминам, применяемым в микросистемной технике, краткая история развития микросистем и перечень характерных метрологических параметров. Приведен математический аппарат, необходимый для описания физики микро- и наносистем. Рассмотрены метрологические и технологические основы подхода к их проектированию, изготовлению и тестированию. Рекомендовано студентам всех вузов, обучающимся по специальностям «Нанотехнологии и микросистемная техника», «Электроника и наноэлектроника» и «Приборостроение».
Библиографическая запись
Гридчин А.В. Инженерно-физические основы микросистем : учебное пособие / Гридчин А.В.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2025. — 136 c. — ISBN 978-5-7782-5465-7. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/158769.html (дата обращения: 12.04.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Альжанова Э.Е.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Хрусталёв В.А., Юрин В.Е.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Агибалов Ю.В., Селютин В.И., Снегирева Е.С.
(Ай Пи Ар Медиа)
Александрова Т.А., Волгина Е.В., Вьюшкина Е.Г., Игнаткина А.Л., Ильичева Е.Г.
(Издательство Саратовской государственной юридической академии)
Смирнов А.В., Брянская Е.В., Абаканова В.А., Шадрина Е.Г.
(Издательство РГПУ им. А. И. Герцена)