Инженерно-физические основы микросистем. Учебное пособие
Об издании
В работе описаны инженерно-физические основы подхода к описанию микросистем, разработанных и применяющихся в настоящее время. Даны определения основным терминам, применяемым в микросистемной технике, краткая история развития микросистем и перечень характерных метрологических параметров. Приведен математический аппарат, необходимый для описания физики микро- и наносистем. Рассмотрены метрологические и технологические основы подхода к их проектированию, изготовлению и тестированию. Рекомендовано студентам всех вузов, обучающимся по специальностям «Нанотехнологии и микросистемная техника», «Электроника и наноэлектроника» и «Приборостроение».
Библиографическая запись
Гридчин А.В. Инженерно-физические основы микросистем : учебное пособие / Гридчин А.В.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2025. — 136 c. — ISBN 978-5-7782-5465-7. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/158769.html (дата обращения: 25.02.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Альжанова Э.Е.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Алексеев Г.В., Искаков И.Ж., Кучеренко В.Я., Кузьмина Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)