Плазменно-пучковые технологии. В 2 частях. Ч.1. Физические основы процессов взаимодействия ускоренных частиц с твердым телом. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрены основные физические процессы, происходящие при взаимодействии ускоренных частиц с твердыми телами. Изложены основные физические принципы ионной имплантации, распыления твердых тел. Рассмотрены основы взаимодействия электронов с веществом, а также даются примеры применения электронных пучков для обработки материалов. Учебное пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлениям 11.03.04, 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», а также для студентов и аспирантов, обучающихся по физическим специальностям, изучающих курсы «Плазменно-пучковые технологии», «Взаимодействие излучения с веществом», «Электрофизические методы обработки материалов», «Актуальные проблемы современной электроники больших мощностей».
Библиографическая запись
Каменецких, А. С. Плазменно-пучковые технологии. В 2 частях. Ч.1. Физические основы процессов взаимодействия ускоренных частиц с твердым телом : учебное пособие / А. С. Каменецких, А. С. Кайгородов ; под редакцией С. О. Чолаха. — Екатеринбург : Издательство Уральского университета, 2024. — 84 c. — ISBN 978-5-7996-3823-8 (ч.1), 978-5-7996-3822-1. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/161376.html (дата обращения: 18.05.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Плешивцев А.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Альжанова Э.Е.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Миронов А.В., Садриева А.Н., Филатова Л.П.
(Ай Пи Ар Медиа)
Миронов А.В., Садриева А.Н., Филатова Л.П.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)