Конструктивно-технологические основы микроэлектроники. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии представлены общие сведения о технологии интегральных микросхем, дана их классификация и кратко описаны основные технологические операции. Основное внимание уделено технологии полупроводниковых микросхем. Рассмотрены также операции изготовления гибридных интегральных микросхем. Учебное пособие предназначено для студентов направлений подготовки 210200 – Проектирование и технология электронных средств и 210100 – Электроника и наноэлектроника.
Библиографическая запись
Филяк, М. М. Конструктивно-технологические основы микроэлектроники : учебное пособие / М. М. Филяк. — Оренбург : Оренбургский государственный университет, ЭБС АСВ, 2011. — 112 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/30059.html (дата обращения: 06.11.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Алексеев Г.В., Искаков И.Ж., Кучеренко В.Я., Кузьмина Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Кондаурова И.А.
(Донецкий национальный технический университет)
Голубев С.С., Секерин В.Д., Афанасьев А.Л., Горохова А.Е.
(Научный консультант)
Крутский Ю.Л., Апарнев А.И., Баннов А.Г.
(Новосибирский государственный технический университет)
Каратаева О.Г., Романюк М.А., Никаноров М.С., Кукушкина Т.С.
(Ай Пи Ар Медиа)