Конструктивно-технологические основы микроэлектроники. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии представлены общие сведения о технологии интегральных микросхем, дана их классификация и кратко описаны основные технологические операции. Основное внимание уделено технологии полупроводниковых микросхем. Рассмотрены также операции изготовления гибридных интегральных микросхем. Учебное пособие предназначено для студентов направлений подготовки 210200 – Проектирование и технология электронных средств и 210100 – Электроника и наноэлектроника.
Библиографическая запись
Филяк, М. М. Конструктивно-технологические основы микроэлектроники : учебное пособие / М. М. Филяк. — Оренбург : Оренбургский государственный университет, ЭБС АСВ, 2011. — 112 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/30059.html (дата обращения: 06.11.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Алексеев Г.В., Искаков И.Ж., Кучеренко В.Я., Кузьмина Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Фёдоров А.А., Киселёва О.В.
(Новосибирский государственный университет)
Протодьяконов А.В., Дягилева А.В., Пылов П.А., Майтак Р.В.
(Инфра-Инженерия)
Бурина Е.Д.
(КАРО)
Пылов П.А., Майтак Р.В., Дягилева А.В.
(Инфра-Инженерия)