Физические основы вакуумной техники. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.
Библиографическая запись
Беркин А.Б. Физические основы вакуумной техники : учебное пособие / Беркин А.Б., Василевский А.И.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2014. — 84 c. — ISBN 978-5-7782-2424-7. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/45189.html (дата обращения: 07.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Алексеев Г.В., Искаков И.Ж., Кучеренко В.Я., Кузьмина Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Усиков С.М., Плющенко Н.Ю., Фатуллаева К.М.
(МИСИ-МГСУ, ЭБС АСВ)
Кашин А.С., Крицкая Т.А., Петрова Н.А., Шилова И.В., Пархоменко А.С.
(Издательство Саратовского университета)
Пронский Д.В., Пронская Н.В.
(Донбасский государственный технический институт)
Кондратьева Т.М., Царева М.В.
(Московский государственный строительный университет, Ай Пи Эр Медиа, ЭБС АСВ)
На конкретных примерах рассмотрим:
На конкретных примерах рассмотрим: