Физические основы вакуумной техники. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.
Библиографическая запись
Беркин А.Б. Физические основы вакуумной техники : учебное пособие / Беркин А.Б., Василевский А.И.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2014. — 84 c. — ISBN 978-5-7782-2424-7. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/45189.html (дата обращения: 30.05.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Альжанова Э.Е.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Ефимова А.В., Леман М.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Ефимова А.В., Леман М.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Хрусталёв В.А., Юрин В.Е.
(Ай Пи Ар Медиа)
Сергеев И.Ю., Латышенко К.П., Шмырева М.Б., Николаев Г.А., Бояринова С.П.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Хлоповских Ю.Г.
(Ай Пи Ар Медиа)
Ладенко А.А., Савенок О.В.
(Инфра-Инженерия)
Кустов А.В., Межов В.Г., Заболотская Е.А., Гончарова Я.С.
(Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева)
Бехер В.В., Мамаева Л.Н.
(Саратовский государственный технический университет имени Ю.А. Гагарина, ЭБС АСВ)
