Компоненты микросистемной техники. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии рассматриваются температурные напряжения и деформации в одно- и многослойных пластинах, напряженно-деформированное состояние несущих элементов МЭМС-устройств, электростатические взаимодействия в МЭМС с плоскопараллельными электродами. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Компоненты микросистемной техники» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении».
Библиографическая запись
Липатов Г.И. Компоненты микросистемной техники : учебное пособие / Липатов Г.И.. — Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019. — 83 c. — ISBN 978-5-7731-0799-6. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/93319.html (дата обращения: 21.03.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Окороков А.Н.
(Медицинская литература, Профобразование)
Казиев Ш.М., Богатырёва И.А.-А., Эбзеева Ф.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Тополь Э.
(Альпина Паблишер)
Носенко Д.И., Золотарёв А.П., Уймин А.Г., Дегтярев С.С., Ефименко Т.И., Морозов И.М., Шальнев В.В.
(Профобразование)
Иванков А.Н., Иванкова Л.Н.
(Профобразование)
