Компоненты микросистемной техники. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии рассматриваются температурные напряжения и деформации в одно- и многослойных пластинах, напряженно-деформированное состояние несущих элементов МЭМС-устройств, электростатические взаимодействия в МЭМС с плоскопараллельными электродами. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Компоненты микросистемной техники» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении».
Библиографическая запись
Липатов Г.И. Компоненты микросистемной техники : учебное пособие / Липатов Г.И.. — Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019. — 83 c. — ISBN 978-5-7731-0799-6. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/93319.html (дата обращения: 18.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Окороков А.Н.
(Медицинская литература, Профобразование)
Гарькушев А.Ю., Липис А.В., Карпова И.Л.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Мятеж Т.В.
(Новосибирский государственный технический университет)
Аникеева А.Е., Елистратова И.Б.
(Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики)
Вавилов В.Д., Тимошенков С.П., Тимошенков А.С.
(Техносфера)
Акинфиева В.В., Ананьева А.А., Афанасьева С.И., Благодир А.Л., Боннер А.Т., Борисевич Г.Я., Вавилин Е.В., Васильева Ю.В., Волос А.А., Воронин М.В., Голубцов В.Г., Гонгало Б.М., Губарева А.В., Дворянс...
(Статут)
Төреханов А.Ә., Алимаев И.И., Оразбаев С.Ә.
(Нур-Принт)