Компоненты микросистемной техники. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии рассматриваются температурные напряжения и деформации в одно- и многослойных пластинах, напряженно-деформированное состояние несущих элементов МЭМС-устройств, электростатические взаимодействия в МЭМС с плоскопараллельными электродами. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Компоненты микросистемной техники» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении».
Библиографическая запись
Липатов Г.И. Компоненты микросистемной техники : учебное пособие / Липатов Г.И.. — Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019. — 83 c. — ISBN 978-5-7731-0799-6. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/93319.html (дата обращения: 19.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Окороков А.Н.
(Медицинская литература, Профобразование)
Гарькушев А.Ю., Липис А.В., Карпова И.Л.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Ермина М.А., Ермин Д.А.
(Санкт-Петербургский государственный университет промышленных технологий и дизайна)
Дейнека А.В., Жуков Б.М.
(Академия Естествознания, Южный институт менеджмента)
Байтулин И.О.
(Всемирный фонд дикой природы (WWF))
Атаров Н.М., Варданян П.С., Горшков Д.А., Леонтьев А.Н.
(Московский государственный строительный университет, ЭБС АСВ)
