Особенности производства ИС. Учебное пособие
Об издании
Учебное пособие содержит общие сведения к выполнению отчета по технологической практике, включая основные этапы технологии изготовления полупроводниковых приборов и ИС, принципы формирования структур ИС, основные группы методов технологии изготовления ИС, основы технологических маршрутов изготовления приборных структур, особенности производства ИС и критерии прогрессивности технологии, основные технологические операции изготовления ИС, примерные технологические маршруты изготовления полупроводниковых приборов и ИС. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Технологическая практика» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»).
Библиографическая запись
Липатов Г.И. Особенности производства ИС : учебное пособие / Липатов Г.И.. — Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019. — 79 c. — ISBN 978-5-7731-0800-9. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/93331.html (дата обращения: 23.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Алексеев Г.В., Искаков И.Ж., Кучеренко В.Я., Кузьмина Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Глебов В.В., Шурыгин А.Ю., Кангин М.В., Егоров М.Е., Кангин Е.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Войтович И.Д., Корсунский В.М.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Бутенко В.И., Коваль Н.С., Лебедев В.А., Болдырев А.И.
(Инфра-Инженерия)
Шамин А.А.
(Инфра-Инженерия)
