Особенности производства ИС. Учебное пособие
Об издании
Учебное пособие содержит общие сведения к выполнению отчета по технологической практике, включая основные этапы технологии изготовления полупроводниковых приборов и ИС, принципы формирования структур ИС, основные группы методов технологии изготовления ИС, основы технологических маршрутов изготовления приборных структур, особенности производства ИС и критерии прогрессивности технологии, основные технологические операции изготовления ИС, примерные технологические маршруты изготовления полупроводниковых приборов и ИС. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Технологическая практика» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»).
Библиографическая запись
Липатов Г.И. Особенности производства ИС : учебное пособие / Липатов Г.И.. — Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019. — 79 c. — ISBN 978-5-7731-0800-9. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/93331.html (дата обращения: 27.05.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Плешивцев А.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
.jpg)
Бекманн Ч., Линг Ф., Баржански Б., Бейтс У., Герберт У., Лаубе Д., Смит Р.
(Медицинская литература, Профобразование)
Васькина Т.И., Семышев М.В., Поцепай С.Н.
(Профобразование)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Баженова Ю.В., Дрантусова Н.С.
(Ай Пи Ар Медиа)
Винокурова А.М., Жданова-Заплесвичко И.Г., Запевалин П.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Дружинина Е.Б., Протопопова Н.В., Дудакова В.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Петрунько И.Л., Сверлик И.С., Горшенина О.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Китаева Е.Ю., Пустозеров В.Г., Китаев А.Ю., Краснова Ю.Н., Белялов Ф.И.
(Ай Пи Ар Медиа)
