Наноразмерные ионно-легированные структуры арсенида галлия для твердотельных СВЧ устройств. Учебное пособие
Об издании
Ионная имплантация арсенида галлия позволяет изготавливать наноразмерные локальные активные, резистивные и изолирующие области в монокристаллическом и эпитаксиальном арсениде галлия в промышленной установке ионного легирования, где осуществляется изготовление элементов ИС СВЧ. Учебное пособие посвящено разработке физических основ и технике ионно-лучевой технологии микроприборов сверхвысоких частот на арсениде галлия, особенностям применения ускоренных ионов серы, селена, гелия, водорода при создании наноразмерных активных, изолирующих областей в монокристаллическом арсениде галлия и его эпитаксиальных структурах; проблеме качества полупроводниковых структур арсенида галлия; роли процессов кластеризации в технологии ионного легирования и изоляции. Книга предназначена магистрантам, занимающимся исследованиями в области технологии полупроводников АIIIВV для твердотельной СВЧ микроэлектроники, а также студентам, обучающимся по направлению «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро-и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах» в соответствии с программой подготовки специалистов высшей квалификации для предприятий твердотельной СВЧ электроники.
Библиографическая запись
Перинский В.В. Наноразмерные ионно-легированные структуры арсенида галлия для твердотельных СВЧ устройств : учебное пособие / Перинский В.В., Перинская И.В., Калганова С.Г.. — Саратов : Саратовский государственный технический университет имени Ю.А. Гагарина, ЭБС АСВ, 2019. — 123 c. — ISBN 978-5-7433-3318-9. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/99260.html (дата обращения: 26.03.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Арутюнова Д.В., Катаев А.В., Названова И.А.
(Издательство Южного федерального университета)
Агеенко Л.В., Сакович Н.Е., Панова Т.В.
(Брянский государственный аграрный университет)
Широкорад И.И., Соломатин В.А., Чарыгина Г.Н., Закатов А.Н., Филатова Т.В., Рыжкова Е.В.
(ПЕР СЭ, Ай Пи Ар Медиа)
Кудрявцева О.В.
(Астраханский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Кузьмина Т.К., Большакова П.В., Шестерикова Я.В.
(МИСИ-МГСУ, ЭБС АСВ)
Игнатьев А.А., Добряков В.А., Игнатьев С.А., Казинский А.А.
(Саратовский государственный технический университет имени Ю.А. Гагарина, ЭБС АСВ)
Генова А.А., Прокопенко А.В.
(Донбасская национальная академия строительства и архитектуры, ЭБС АСВ)
