Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами. Курс лекций
Об издании
Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, которые накладываются на процесс фотолитографии. Приведена теория электронной эмиссии, используемая для моделирования формирования электронного пучка. Описан эффект близости, который вносит ограничения в точность формирования изображения при электронной литографии. Показаны способы коррекции эффекта близости. Предназначен для студентов, обучающихся в магистратуре по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника».
Библиографическая запись
Юрчук С.Ю. Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами : курс лекций / Юрчук С.Ю.. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2013. — 45 c. — ISBN 978-5-87623-662-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/56066.html (дата обращения: 21.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Воличенко О.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Алексеев Г.В., Искаков И.Ж., Кучеренко В.Я., Кузьмина Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Глебов В.В., Шурыгин А.Ю., Кангин М.В., Егоров М.Е., Кангин Е.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Зима Т.М.
(Новосибирский государственный технический университет)
Аникеева А.Е., Елистратова И.Б.
(Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики)
Томина Н.Н., Максимов Н.М., Тыщенко В.А., Пимерзин А.А.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Косырев К.А., Руденко А.В.
(Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»)
Вавилов В.Д., Тимошенков С.П., Тимошенков А.С.
(Техносфера)
Малюков С.П., Саенко А.В., Клунникова Ю.В., Палий А.В.
(Издательство Южного федерального университета)
Достанко А.П., Аваков С.М., Агеев О.А., Батура М.П., Бордусов С.В., Голосов Д.А., Джуплин В.Н., Завадский С.М., Клим О.В., Ланин В.Л., Мадвейко С.И., Мельников С.Н., Петухов И.Б., Ретюхин Г.Е., Русец...
(Белорусская наука)