Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами. Курс лекций
Об издании
Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, которые накладываются на процесс фотолитографии. Приведена теория электронной эмиссии, используемая для моделирования формирования электронного пучка. Описан эффект близости, который вносит ограничения в точность формирования изображения при электронной литографии. Показаны способы коррекции эффекта близости. Предназначен для студентов, обучающихся в магистратуре по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника».
Библиографическая запись
Юрчук С.Ю. Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами : курс лекций / Юрчук С.Ю.. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2013. — 45 c. — ISBN 978-5-87623-662-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/56066.html (дата обращения: 19.04.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Казиев В.М.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Панасенко С.В., Каращук О.С., Красильникова Е.А., Майорова Е.А., Никишин А.Ф., Чеглов В.П., Шишкин А.В., Маслова А.Е.
(Дашков и К)
Кашаев В.В., Жук В.Л.
(Ай Пи Ар Медиа)
Санталова М.С., Борщева А.В., Гладилина И.Л., Соклакова И.В., Сурат И.Л.
(Дашков и К)
Афонин В.В., Федосин С.А.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Джингилбаев С.С.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Джингилбаев С.С.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Профобразование)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Перхуткин В.П., Перхуткина З.И., Овчарук Т.А., Недух Е.Н., Панюкова М.Л.
(Инфра-Инженерия)