Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии рассмотрены физико-химические основы получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методы очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок и слоев с использованием рассмотренных методов. Помимо теоретического материала издание содержит также лабораторные работы, которые включают расчет скорости осаждения пленок из парогазовой фазы в различных режимах протекания процесса и изменения состава пленок по толщине при вакуум-термическом напылении, исследование процесса эпитаксиального осаждения кремния, изучение процесса непрерывной ректификации. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»), изучающих дисциплину «Физико-химические основы нанотехнологии».
Библиографическая запись
Липатов Г.И. Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения : учебное пособие / Липатов Г.И.. — Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2021. — 84 c. — ISBN 978-5-4497-1207-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/108372.html (дата обращения: 27.07.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Лёвина Г.М., Николенко Е.Ю.
(Ай Пи Ар Медиа)
Грекул В.И., Коровкина Н.Л., Богословцев Д.А., Синайская Н.Н.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Малыш М.Н., Ткаченко В.А.
(Проспект Науки)
Богданов В.В., Бритов В.П., Лебедева Т.М., Николаев О.О., Овечко А.Н., Росинкевич С.Ф., Смирнов Б.Л., Стебловский Г.А., Стригин А.В., Туболкин А.Е., Шаховец С.Е....
(Проспект Науки)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Бурляева В.А., Олешкевич Т.А., Соловьев А.М., Соловьева Н.В., Чебанов К.А., Семкина Е.Н., Булах К.В., Тартышева Н.А., Дроздова Е.С., Соловьева Н.В., Булах К.В., Шулешко Е.С., Демченко Н.Ю., Макаренко...
(Невинномысский государственный гуманитарно-технический институт)
Удалова Т.Ю.
(Издательство ОмГПУ)
Балябина Е.В., Круглов А.Ю., Оганян К.М., Рудыхина О.В., Паттурина Н.П., Игнатенко М.С., Пекун М.Е., Романов К.В., Кричевский Б.В., Бахмутский А.Е., Бражник Е.И., Лысакова И.П., Теремова Р.М., Гаврил...
(Издательство РГПУ им. А. И. Герцена)
Селиверстов Ю.И., Никитина Е.А., Смольникова А.В.
(Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова, ЭБС АСВ)
Коробова О.А., Максименко Л.А.
(Новосибирский государственный архитектурно-строительный университет (Сибстрин), ЭБС АСВ)