Чтение online
Недоступно
Рейтинг издания
Поделиться:

Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения. Учебное пособие

Издательство:
Ай Пи Ар Медиа
Авторы:
Липатов Г.И.
Год издания:
2021
ISBN:
978-5-4497-1207-3
Тип издания:
учебное пособие
DOI:

Об издании

В учебном пособии рассмотрены физико-химические основы получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методы очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок и слоев с использованием рассмотренных методов. Помимо теоретического материала издание содержит также лабораторные работы, которые включают расчет скорости осаждения пленок из парогазовой фазы в различных режимах протекания процесса и изменения состава пленок по толщине при вакуум-термическом напылении, исследование процесса эпитаксиального осаждения кремния, изучение процесса непрерывной ректификации. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»), изучающих дисциплину «Физико-химические основы нанотехнологии».

Библиографическая запись

Липатов Г.И. Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения : учебное пособие / Липатов Г.И.. — Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2021. — 84 c. — ISBN 978-5-4497-1207-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/108372.html (дата обращения: 20.05.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей

РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ

C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ

Этот сайт использует «cookies». Условия использования «cookies» см. в Пользовательском соглашении. Также сайт использует инструменты для сбора технических данных касательно посетителей с целью получения маркетинговой и статистической информации. Условия обработки данных посетителей сайта см. в Политике конфиденциальности. В случае несогласия с обработкой данных, просим покинуть сайт Принять условия