Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии рассмотрены физико-химические основы получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методы очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок и слоев с использованием рассмотренных методов. Помимо теоретического материала издание содержит также лабораторные работы, которые включают расчет скорости осаждения пленок из парогазовой фазы в различных режимах протекания процесса и изменения состава пленок по толщине при вакуум-термическом напылении, исследование процесса эпитаксиального осаждения кремния, изучение процесса непрерывной ректификации. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»), изучающих дисциплину «Физико-химические основы нанотехнологии».
Библиографическая запись
Липатов Г.И. Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения : учебное пособие / Липатов Г.И.. — Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2021. — 84 c. — ISBN 978-5-4497-1207-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/108372.html (дата обращения: 29.03.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Даниярова Н.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Санталова М.С., Борщева А.В., Гладилина И.Л., Соклакова И.В., Сурат И.Л.
(Дашков и К)
Джингилбаев С.С.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Джингилбаев С.С.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Профобразование)
Рязанов С.И., Псигин Ю.В.
(Инфра-Инженерия)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Томсинов В.А.
(Зерцало-М)
Денисов Е.П., Царев А.П., Кульков В.Ф., Солодовников А.П., Летучий А.В., Денисов К.Е.
(Корпорация «Диполь»)