Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии рассмотрены физико-химические основы получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методы очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок и слоев с использованием рассмотренных методов. Помимо теоретического материала издание содержит также лабораторные работы, которые включают расчет скорости осаждения пленок из парогазовой фазы в различных режимах протекания процесса и изменения состава пленок по толщине при вакуум-термическом напылении, исследование процесса эпитаксиального осаждения кремния, изучение процесса непрерывной ректификации. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»), изучающих дисциплину «Физико-химические основы нанотехнологии».
Библиографическая запись
Липатов Г.И. Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения : учебное пособие / Липатов Г.И.. — Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2021. — 84 c. — ISBN 978-5-4497-1207-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/108372.html (дата обращения: 05.04.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Хрусталёв В.А., Юрин В.Е.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Демкина Е.А., Иванов А.А., Иванова Н.А., Кондрашова М.А., Толочкова И.А.
(Издательство Саратовской государственной юридической академии)
Хисамеева Л.Р., Селюгин А.С., Абитов Р.Н., Бусарев А.В., Урмитова Н.С.
(Ай Пи Ар Медиа)
Копытин А.И., МакКлин К., МакНифф Ш., Мальчиоди К., Мэрфи Д., Мэтьюз Н., Пардоу Л., Пейсли Д., Плевен М., Постальчук О.И., Пролкс Л., Розаль М., Свенцицкая В.А., Сильвер Р., Спринэм Н., Стоун Б., Том...
(Когито-Центр)
Яковенко К.А., Турчина Г.С.
(Донбасская национальная академия строительства и архитектуры, ЭБС АСВ)
Соловьева Е.А., Бабенко А.С.
(Издательский Дом Томского государственного университета)