Моделирование технологических процессов и интегральных микросхем. Лабораторный практикум
Об издании
В лабораторном практикуме представлены задачи по методам математического моделирования технологических процессов микро- и наноэлектронного производства в системе автоматизированного проектирования TCAD. Приведены справочные материалы по методам моделирования технологических операций и задания для лабораторных работ. Материал иллюстрируется примерами. Издание предназначено для студентов направлений 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль «Микроэлектроника и твердотельная электроника») и 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» (программа «Интегральные системы и устройства в микро- и наноэлектронике»), изучающих дисциплины «Математическое моделирование технологических процессов и интегральных схем», «Моделирование физических процессов в микро- и наноэлектронике».
Библиографическая запись
Плотникова Е.Ю. Моделирование технологических процессов и интегральных микросхем : лабораторный практикум / Плотникова Е.Ю., Арсентьев А.В., Винокуров А.А.. — Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2020. — 96 c. — ISBN 978-5-7731-0866-5. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/111472.html (дата обращения: 04.04.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Воличенко О.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Хрусталёв В.А., Юрин В.Е.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Линева О.И., Колсанова А.В., Кияшко И.С.
(Ай Пи Ар Медиа)
Корецкая М.А., Иливицкая Л.Г., Барабошина Н.В., Клецкин М.В., Кузовенкова Ю.А., Степанов И.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Пономарев А.В., Золотарева М.В.
(Санкт-Петербургский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Налобина А.Н., Федорова Т.Н., Лазарева Н.Н., Кичигина Л.Б.
(Ай Пи Ар Медиа)
Каменских С.В.
(Инфра-Инженерия)