Аддитивная имплантация ионов в переходные металлы, полупроводники, диэлектрики тонкопленочных структур. Монография
Об издании
Цель монографии — дать современное представление о научном направлении, называемом аддитивной ионной имплантацией тонкопленочных структур металлов (медь, титан, алюминий, хром), полупроводников (арсенид галлия, антимонид галлия), диэлектриков (двуокись кремния, гидроксиапатит, полимеры), и описать разнообразие существующих и возможных технических применений в различных отраслях промышленности: электронике, машиностроении, медицинской технике. В издании приведено большое количество экспериментальных данных, в том числе фактических при компьютерном моделировании. Монография будет полезна студентам старших курсов, аспирантам и магистрантам, специализирующимся в области физической электроники, материаловедения ионно-легированных материалов.
Библиографическая запись
Перинский В.В. Аддитивная имплантация ионов в переходные металлы, полупроводники, диэлектрики тонкопленочных структур : монография / Перинский В.В., Перинская И.В.. — Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2022. — 159 c. — ISBN 978-5-4497-1414-5. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/116611.html (дата обращения: 07.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Гурьянов Л.В., Гурьянова Л.С., Гришин Е.В., Дзюба Е.А., Самуйлов С.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Гурьянов Л.В., Гурьянова Л.С., Гришин Е.В., Дзюба Е.А., Самуйлов С.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Легкий Н.М., Шумилин В.К.
(Инфра-Инженерия)
Буре Н.А., Суханова О.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Конёнков Н.В., Сысоев А.А.
(Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»)
Алексеев Г.В., Карпичев Е.В., Тестина Я.С., Алексеева А.В.
(Инфра-Инженерия)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Перинский В.В., Перинская И.В., Перинская Е.Д.
(Ай Пи Ар Медиа)
Ладыженская Т.П., Лабужская Т.И.
(Ай Пи Ар Медиа)
Шамгунов Р.Н.
(Прометей)
.jpg)
Балова С.Л., Грошев И.В., Давыдова Ю.А., Жильцова О.Н., Карпова С.В., Климов Д.В., Маслова В.М., Синяев В.В., Синяева И.М., Шманева Л.В., Эриашвили Н.Д....
(ЮНИТИ-ДАНА)
На конкретных примерах рассмотрим:
На конкретных примерах рассмотрим: