Аддитивная имплантация ионов в переходные металлы, полупроводники, диэлектрики тонкопленочных структур. Монография
Об издании
Цель монографии — дать современное представление о научном направлении, называемом аддитивной ионной имплантацией тонкопленочных структур металлов (медь, титан, алюминий, хром), полупроводников (арсенид галлия, антимонид галлия), диэлектриков (двуокись кремния, гидроксиапатит, полимеры), и описать разнообразие существующих и возможных технических применений в различных отраслях промышленности: электронике, машиностроении, медицинской технике. В издании приведено большое количество экспериментальных данных, в том числе фактических при компьютерном моделировании. Монография будет полезна студентам старших курсов, аспирантам и магистрантам, специализирующимся в области физической электроники, материаловедения ионно-легированных материалов.
Библиографическая запись
Перинский В.В. Аддитивная имплантация ионов в переходные металлы, полупроводники, диэлектрики тонкопленочных структур : монография / Перинский В.В., Перинская И.В.. — Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2022. — 159 c. — ISBN 978-5-4497-1414-5. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/116611.html (дата обращения: 26.04.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Малафеев О.А., Шкрабак В.С., Шкрабак Р.В., Орлов П.С., Богатырёв В.Ф.
(Проспект Науки)
Ланщикова Г.А., Сухарев А.И.
(Издательство ОмГПУ)
Ткачёв А.Н., Епишков Е.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Ткачёв А.Н., Епишков Е.Н.
(Южно-Уральский технологический университет)
Королева И.В.
(КАРО)
Долгов А.П.
(Новосибирский государственный технический университет)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Австриевских А.Н., Вековцев А.А., Позняковский В.М.
(Вузовское образование)
Кокоулина О.П.
(Евразийский открытый институт)
(Владивостокский филиал Российской таможенной академии)