Цель монографии — дать современное представление о научном направлении, называемом аддитивной ионной имплантацией тонкопленочных структур металлов (медь, титан, алюминий, хром), полупроводников (арсенид галлия, антимонид галлия), диэлектриков (двуокись кремния, гидроксиапатит, полимеры), и описать разнообразие существующих и возможных технических применений в различных отраслях промышленности: электронике, машиностроении, медицинской технике. В издании приведено большое количество экспериментальных данных, в том числе фактических при компьютерном моделировании. Монография будет полезна студентам старших курсов, аспирантам и магистрантам, специализирующимся в области физической электроники, материаловедения ионно-легированных материалов.
Перинский В.В. Аддитивная имплантация ионов в переходные металлы, полупроводники, диэлектрики тонкопленочных структур : монография / Перинский В.В., Перинская И.В.. — Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2022. — 159 c. — ISBN 978-5-4497-1414-5. — Текст : электронный // IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/116611.html (дата обращения: 09.06.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей. - DOI: https://doi.org/10.23682/116611
Издательство: Ай Пи Ар Медиа
Автор: Ткачёв А.Н., Епишков Е.Н.
Год издания: 2023
ISBN: 978-5-4497-2042-9
Издательство: Южно-Уральский технологический университет
Автор: Ткачёв А.Н., Епишков Е.Н.
Год издания: 2023
ISBN: 978-5-6048829-3-1
Издательство: Новосибирский государственный технический университет
Автор: Долгов А.П.
Год издания: 2022
ISBN: 978-5-7782-4678-2
Издательство: Инфра-Инженерия
Автор: Ларин А.М., Полковниченко Д.В., Гуляева И.Б.
Год издания: 2022
ISBN: 978-5-9729-1065-6
Издательство: Интермедия
Автор: Бойкова М.В., Ворона А.А.
Год издания: 2021
ISBN: 978-5-4383-0217-9
Издательство: Проспект Науки
Автор: Малафеев О.А., Шкрабак В.С., Шкрабак Р.В., Орлов П.С., Богатырёв В.Ф.
Год издания: 2021
ISBN: 978-5-6046442-0-1
Издательство: Вузовское образование
Автор: Австриевских А.Н., Вековцев А.А., Позняковский В.М.
Год издания: 2014
ISBN:
Издательство: Владивостокский филиал Российской таможенной академии
Автор:
Год издания: 2010
ISBN: 978-5-9590-0559-7