Аддитивная имплантация ионов в переходные металлы, полупроводники, диэлектрики тонкопленочных структур. Монография
Об издании
Цель монографии — дать современное представление о научном направлении, называемом аддитивной ионной имплантацией тонкопленочных структур металлов (медь, титан, алюминий, хром), полупроводников (арсенид галлия, антимонид галлия), диэлектриков (двуокись кремния, гидроксиапатит, полимеры), и описать разнообразие существующих и возможных технических применений в различных отраслях промышленности: электронике, машиностроении, медицинской технике. В издании приведено большое количество экспериментальных данных, в том числе фактических при компьютерном моделировании. Монография будет полезна студентам старших курсов, аспирантам и магистрантам, специализирующимся в области физической электроники, материаловедения ионно-легированных материалов.
Библиографическая запись
Перинский В.В. Аддитивная имплантация ионов в переходные металлы, полупроводники, диэлектрики тонкопленочных структур : монография / Перинский В.В., Перинская И.В.. — Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2022. — 159 c. — ISBN 978-5-4497-1414-5. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/116611.html (дата обращения: 06.12.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Ланщикова Г.А., Сухарев А.И.
(Издательство ОмГПУ)
Ткачёв А.Н., Епишков Е.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Ткачёв А.Н., Епишков Е.Н.
(Южно-Уральский технологический университет)
Королева И.В.
(КАРО)
Долгов А.П.
(Новосибирский государственный технический университет)
Ларин А.М., Полковниченко Д.В., Гуляева И.Б.
(Инфра-Инженерия)
Бойкова М.В., Ворона А.А.
(Интермедия)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Австриевских А.Н., Вековцев А.А., Позняковский В.М.
(Вузовское образование)
Кокоулина О.П.
(Евразийский открытый институт)
(Владивостокский филиал Российской таможенной академии)