Аддитивная имплантация ионов в переходные металлы, полупроводники, диэлектрики тонкопленочных структур. Монография
Об издании
Цель монографии — дать современное представление о научном направлении, называемом аддитивной ионной имплантацией тонкопленочных структур металлов (медь, титан, алюминий, хром), полупроводников (арсенид галлия, антимонид галлия), диэлектриков (двуокись кремния, гидроксиапатит, полимеры), и описать разнообразие существующих и возможных технических применений в различных отраслях промышленности: электронике, машиностроении, медицинской технике. В издании приведено большое количество экспериментальных данных, в том числе фактических при компьютерном моделировании. Монография будет полезна студентам старших курсов, аспирантам и магистрантам, специализирующимся в области физической электроники, материаловедения ионно-легированных материалов.
Библиографическая запись
Перинский В.В. Аддитивная имплантация ионов в переходные металлы, полупроводники, диэлектрики тонкопленочных структур : монография / Перинский В.В., Перинская И.В.. — Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2022. — 159 c. — ISBN 978-5-4497-1414-5. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/116611.html (дата обращения: 23.05.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Панкратьев Е.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Гурьянов Л.В., Гурьянова Л.С., Гришин Е.В., Дзюба Е.А., Самуйлов С.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Ларионов И.К., Федоров М.В., Гуреева М.А.
(Дашков и К)
Туманов В.Е.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Гурьянов Л.В., Гурьянова Л.С., Гришин Е.В., Дзюба Е.А., Самуйлов С.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Катков Д.С., Попов И.Н., Культяев С.Г.
(Ай Пи Ар Медиа)
Гримашевич О.Н., Матушкин М.А., Уманская М.В., Подсумкова Л.А., Казакова Н.В., Славнецкова Л.В., Хачатрян Г.А., Чистякова С.В., Мухина И.В., Сарасеко Е.С., Трегубов В.Н., Пузанова Е.А., Горячева И.А....
(Ай Пи Ар Медиа)
Перинский В.В., Перинская И.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Волкова Т.Ф., Курикова Н.В., Красман В.А., Володина Д.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Кузьмина Т.К., Большакова П.В., Шестерикова Я.В.
(МИСИ-МГСУ, ЭБС АСВ)
