Аддитивная имплантация ионов в переходные металлы, полупроводники, диэлектрики тонкопленочных структур. Монография
Об издании
Цель монографии — дать современное представление о научном направлении, называемом аддитивной ионной имплантацией тонкопленочных структур металлов (медь, титан, алюминий, хром), полупроводников (арсенид галлия, антимонид галлия), диэлектриков (двуокись кремния, гидроксиапатит, полимеры), и описать разнообразие существующих и возможных технических применений в различных отраслях промышленности: электронике, машиностроении, медицинской технике. В издании приведено большое количество экспериментальных данных, в том числе фактических при компьютерном моделировании. Монография будет полезна студентам старших курсов, аспирантам и магистрантам, специализирующимся в области физической электроники, материаловедения ионно-легированных материалов.
Библиографическая запись
Перинский В.В. Аддитивная имплантация ионов в переходные металлы, полупроводники, диэлектрики тонкопленочных структур : монография / Перинский В.В., Перинская И.В.. — Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2022. — 159 c. — ISBN 978-5-4497-1414-5. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/116611.html (дата обращения: 07.04.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Панкратьев Е.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Гурьянов Л.В., Гурьянова Л.С., Гришин Е.В., Дзюба Е.А., Самуйлов С.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Туманов В.Е.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Гурьянов Л.В., Гурьянова Л.С., Гришин Е.В., Дзюба Е.А., Самуйлов С.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Легкий Н.М., Шумилин В.К.
(Инфра-Инженерия)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Петрова Л.А., Малахова Ю.В.
(Профобразование)
Веселков С.А.
(Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева)
Тимофеев И.В., Сковородин Д.И., Черноштанов И.С.
(Новосибирский государственный университет)
Романенко М.И.
(Пензенский государственный университет архитектуры и строительства, ЭБС АСВ)
Киселева О.В., Коноваленко С.А., Скрипкина О.В.
(Рязанский государственный радиотехнический университет)
