Материаловедение ионно-имплантированных металлов интегральных схем. В 2 частях. Ч. 1. Учебное пособие
Об издании
Ионная имплантация приобрела в последние годы очень важное значение не только как способ создания микроэлектронных устройств и других приборов современной твердотельной электроники, но и как мощный универсальный метод экспериментальной физики, материаловедения металлов. Исследования эффектов ионной имплантации в металлы ведутся по многим направлениям: моделирование нейтронных дефектов в стенках тепловыделяющих элементов ядерных реакторов, увеличение срока службы шарикоподшипников, повышение твердости и износостойкости инструмента, создание медицинских имплантатов. Учебное пособие состоит из двух частей. Часть первая содержит информацию о достижениях ионной имплантации, закономерностях материаловедения, методологии электроники, технологий нанесения металлических структур интегральных схем. Подготовлено в соответствии с Федеральным государственным образовательным стандартом высшего образования. Издание будет полезно при изучении дисциплин «Электротехническое и конструкционное материаловедение», «Создание современных материалов с использованием электротехнологий», «Методология научного исследования» по укрупненной группе направлений подготовки и специальностей «Электро- и теплоэнергетика», а также может представлять интерес для преподавателей, научных работников, инженеров и аспирантов.
Библиографическая запись
Перинский, В. В. Материаловедение ионно-имплантированных металлов интегральных схем. В 2 частях. Ч. 1 : учебное пособие / В. В. Перинский, И. В. Перинская. — 2-е изд. — Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2024. — 94 c. — ISBN 978-5-4497-3560-7 (ч. 1), 978-5-4497-3558-4. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/142807.html (дата обращения: 03.09.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Миронов А.В., Садриева А.Н., Филатова Л.П.
(Ай Пи Ар Медиа)
Миронов А.В., Садриева А.Н., Филатова Л.П.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Николаева Н.Н., Куликова М.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Николаева Н.Н., Куликова М.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Антипова Е.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Антипова Е.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Перинский В.В., Перинская И.В., Перинская Е.Д.
(Ай Пи Ар Медиа)
Михайлова Т.В.
(Всероссийский государственный университет кинематографии имени С.А. Герасимова (ВГИК))
Никола М.И., Сомова Е.В., Черноземова Е.Н., Булашова Н.М., Дремов М.А., Кузнецова А.И., Новокрещенных И.А., Попова А.В., Соболева Н.В., Чагина А.П., Чернова Ю.В., Ветивер М.М....
(Прометей)
Глотова Г.Н., Позолотина В.А.
(Рязанский государственный агротехнологический университет имени П.А. Костычева)
Ладыженская Т.П., Лабужская Т.И.
(Ай Пи Ар Медиа)
На конкретных примерах рассмотрим:
На конкретных примерах рассмотрим: