Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии приводятся теоретические сведения о физико-химических основах получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методах очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок и слоев с использованием рассмотренных методов. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Физико-химические основы нанотехнологии» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»).
Библиографическая запись
Липатов Г.И. Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения : учебное пособие / Липатов Г.И.. — Воронеж : Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ, 2019. — 85 c. — ISBN 978-5-7731-0798-9. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/93336.html (дата обращения: 18.02.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Алексеев Г.В., Искаков И.Ж., Кучеренко В.Я., Кузьмина Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Корецкая М.А., Иливицкая Л.Г., Барабошина Н.В., Клецкин М.В., Кузовенкова Ю.А., Степанов И.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Щербаков И.Н., Любченко С.Н., Туполова Ю.П., Бородкин С.А.
(Издательство Южного федерального университета)
Аксенова Т.В., Волкова Н.Е., Киселёв Е.А., Черепанов В.А.
(Издательство Уральского университета)
Шипилов Д.А., Кутяшева Н.В., Мосюров С.Е., Курочкина Г.И.
(Московский педагогический государственный университет)