Основы математического моделирования. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии описаны основные математические модели современных технологических процессов полупроводниковой электроники: диффузии, ионной имплантации, термического окисления и импульсного отжига. Представлены методики решения основных уравнений и способы проведения процесса моделирования с целью разработки топологии современных структур микро- и наноэлектроники. Дана информация о широко используемых в настоящее время физических моделях технологических процессов электроники, их возможностях и ограничениях. Большое внимание уделено описанию параметров математических моделей, позволяющих получать реалистичные результаты моделирования, хорошо совпадающие с экспериментальными. Учебное пособие предназначено для освоения студентами методов математического моделирования основных технологических процессов изготовления микроэлектронных полупроводниковых приборов и интегральных схем, а также изучения современных моделей процессов электроники. Пособие позволит студентам более глубоко усвоить лекционный материал при подготовке к практическим занятиям и окажет помощь при выполнении домашних заданий и курсовых работ. Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника».
Библиографическая запись
Юрчук С.Ю. Основы математического моделирования : учебное пособие / Юрчук С.Ю.. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2014. — 108 c. — ISBN 978-5-87623-811-5. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/98880.html (дата обращения: 28.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Седова Н.А., Седов В.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Кузнецова И.В., Напалков С.В., Смирнов Е.И., Тихомиров С.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Фокина З.Т., Ледяева О.М., Кривых Е.Г., Мезенцев С.Д.
(МИСИ-МГСУ, Ай Пи Ар Медиа, ЭБС АСВ)
Лызь Н.А., Лызь А.Е.
(Издательство Южного федерального университета)
Аякова Ж.А.
(Бурятская государственная сельскохозяйственная академия им. В.Р. Филиппова)
Сердюк А.И., Башевая Т.С., Белецкий Я.О.
(Донбасская национальная академия строительства и архитектуры, ЭБС АСВ)
Быкова О.П., Мартынова М.А., Сусакова Н.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Яцевич М.Ю., Баумгартэн М.И.
(Кузбасский государственный технический университет имени Т.Ф. Горбачева)
