Компоненты микросистемной техники. Введение в моделирование на ANSYS. Учебно-методическое пособие

Об издании

Пособие посвящено вопросам компьютерного моделирования различных сенсоров и микросистем, из числа разработанных и применяющихся в настоящее время, при помощи системы инженерного моделирования ANSYS. При этом основной акцент в пособии поставлен на описании различных методик и особенностей их реализации в рамках системы ANSYS, которые могут применяться для целей практического моделирования кремниевых механических сенсоров и микросистем. Пособие представлено как вводный курс лабораторных работ по дисциплинам «Физические основы микро- и наносистемной техники» и «Микродатчики». Первый раздел – это по сути обзор возможностей системы ANSYS при помощи приложения ANSYS Help Viewer. Второй раздел посвящен технологии пошагового создания геометрии простейших объектов. В приложении дается краткое описание метода конечных элементов, с точки зрения его применения к решению задачи моделирования и проектирования сенсоров и микросистем.

Библиографическая запись

Гридчин А.В. Компоненты микросистемной техники. Введение в моделирование на ANSYS : учебно-методическое пособие / Гридчин А.В.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2022. — 80 c. — ISBN 978-5-7782-4832-8. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/155875.html (дата обращения: 07.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей