Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами. Курс лекций
Об издании
Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, которые накладываются на процесс фотолитографии. Приведена теория электронной эмиссии, используемая для моделирования формирования электронного пучка. Описан эффект близости, который вносит ограничения в точность формирования изображения при электронной литографии. Показаны способы коррекции эффекта близости. Предназначен для студентов, обучающихся в магистратуре по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника».
Библиографическая запись
Юрчук С.Ю. Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами : курс лекций / Юрчук С.Ю.. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2013. — 45 c. — ISBN 978-5-87623-662-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/56066.html (дата обращения: 09.06.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
.jpg)
Воличенко О.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Хрусталёв В.А., Юрин В.Е.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Балакина А.Е., Банцерова О.Л., Дубынин Н.В., Забалуева Т.Р., Захаров А.В., Клочко А.Р., Пронина Т.В., Финогенов А.И., Шамаева Т.В....
(МИСИ-МГСУ, ЭБС АСВ)
Киндеев Е.А.
(Издательство Владимирского государственного университета)
Лебедев В.А., Давыдова И.В., Шишкина А.П., Колганова Е.Н.
(Инфра-Инженерия)
Газизов М.Б., Иванова С.Ю., Шайхутдинова Л.Р., Хайруллин Р.А., Каримова Р.Ф.
(Издательство КНИТУ)
Голякова Ю.Е., Щукина В.Н., Мартынова Н.Г., Бударова В.А., Меркурьева К.Р.
(Тюменский индустриальный университет)
Кучеров И.И., Поветкина Н.А., Абрамова Н.Е., Боженок С.Я., Веремеева О.В., Воробьев Н.С., Воронцов О.Г., Журавлева О.О., Зуева А.С., Копина А.А., Кошкин А.Н., Кудряшова Е.В., Леднева Ю.В., Мирзаев Р....
(Институт законодательства и сравнительного правоведения при Правительстве Российской Федерации, Юриспруденция)
Петров С.М.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)